番外編
  ── 「ノウハウは装置業界から流出した……」は本当か？

　なお、「凋落」の原因というより、Ａ級戦犯扱いをされているものとして、「装置メーカー真犯人説」があります。これは、「半導体メーカーの技術ノウハウが「製造装置に体化」され、その製造装置を通して海外、特に韓国や台湾のメーカーに流出した」という指摘ですが、半導体産業への理解という面で本書のテーマにも絡みますので、少しだけ触れておきたいと思います。

　この議論は、「製造装置を揃えれば誰でも半導体を作れるか？」という問いの形で提示されることもあります。我が国の大手半導体メーカーは系列会社を持っていたこともあり、製造装置メーカーと二人三脚の形で装置開発を行なっていました。その過程で半導体技術そのものがさまざまな形で製造装置に反映されたことは間違いありません。

　ところで「ノウハウが流失した」と主張する人達はおおむね次のような理由を挙げています。すなわち、「半導体の製造では多くの工程間（あるいは多くの部門間）のきめ細かな技術のすり合せが必須であり、これは日本企業が最も得意とするところであった。これによって日の丸半導体は世界に大躍進を果たしたが、やがてこれが製造装置に蓄積され、埋め込まれることになった。そして装置の輸出とともに、いわばパッケージ技術として、半導体製造のノウハウが海外に流失した」という主張です。一見、筋の通った議論に見えるかもしれません。

　しかし、実態は違います。半導体メーカーは、具体的な製品とその製造工程に合わせて必要なデバイス・パラメータを実現するため、さまざまな実験に基づいて最適な条件設定を行ない、そのレシピを製品処理に適用しているのです。多数のレシピと、複雑で微妙な組合せが所望のデバイス・パラメータを実現するために必要になります。このため、装置をどう使うかは半導体メーカーが選択し設定することであって、装置メーカーが行なうことではないのです。

　以上の説明からも明らかなように、製造装置を揃えるだけで、半導体を作ることはできません。半導体の開発から製造に到る全体の流れの中で、各工程の位置を理解・把握し、その上で各製造工程において製品に求められる装置機能を引き出さなければならないのです。

　したがって、「製造装置を通して日本の半導体技術が流失した」と言う主張には「根拠がまったくない」とは言えませんが、「デバイス技術の流出があって、初めて装置技術のノウハウが生かされた」と考えるべきだし、能力ある技術者を冷遇あるいは追い出してきた（韓国や中国に働きの場を求めさせた）経営の責任だと考えたほうがよいのかもしれません。
 

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